OBERFLÄCHEN-ABTASTSONDEN

SISTEMA-OBERFLÄCHEN-ABTASTSONDEN IN KOMBINATION MIT OPTISCHEN PARTIKELZÄHLERN

In der Halbleiterindustrie, wo selbst mikroskopisch kleine Partikel die Ausbeute beeinträchtigen können, ist die Erkennung und Messung von Oberflächenverunreinigungen von entscheidender Bedeutung. Die Sonden von Sistema-MK erweitern die Fähigkeiten etablierter luftgetragener Partikelzählsysteme und verwandeln sie in umfassende Werkzeuge für die Überwachung der Oberflächensauberkeit in Produktionsstätten.

Diese in Deutschland entwickelten und gefertigten Oberflächenabtastsonden bieten außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Genauigkeit. Speziell für die Kompatibilität mit führenden optischen Partikelzählern wie Lighthouse Solair und TSI Aerotrak entwickelt, ermöglichen sie präzise Bewertungen kritischer Oberflächen in Reinraumumgebungen.

Mit robuster Konstruktion, hoher Präzision und langer Lebensdauer verbinden die Sonden von Sistema-MK deutsche Ingenieurskunst mit nahtloser Integration in bestehende Überwachungssysteme. Durch die Bereitstellung einer standardisierten Überprüfung der Oberflächensauberkeit neben der Luftüberwachung verbessern sie die Reinraumqualität und helfen Halbleiterherstellern weltweit, die strengsten Standards für die Kontaminationskontrolle zu erfüllen.

Verstärkung der Kontaminationskontrolle in der Halbleiterfertigung

In der Halbleiterproduktion hängt die Ausbeute von der unerbittlichen Kontrolle mikroskopisch kleiner Partikel ab. Selbst Submikron-Kontaminationen auf Wafern, Werkzeugen oder Substraten können Prozesse stören, die Zuverlässigkeit der Bauelemente verringern und die Ausbringung beeinträchtigen. Reinräume sind so konzipiert, dass sie luftgetragene Partikel minimieren, und optische Partikelzähler werden in großem Umfang eingesetzt, um die Luftreinheit gemäß internationalen Standards wie ISO 14644-1 zu messen. Die reine Luftüberwachung allein erzählt jedoch nicht die ganze Geschichte. Partikel, die der Erkennung entgehen, setzen sich oft auf kritischen Oberflächen ab und stellen versteckte Risiken dar, die nur durch eine direkte Oberflächenbewertung identifiziert werden können.

Überbrückung der Lücke: Oberflächenabtastsonden, die nahtlos mit weit verbreiteten optischen Partikelzählern zusammenarbeiten

Sistema Surface Scanning Probes (SSP) schließen diese Überwachungslücke, indem sie die Fähigkeiten bestehender luftgetragener Partikelzähler erweitern. Durch die nahtlose Kopplung mit weit verbreiteten optischen Partikelzählern verwandeln SSPs diese Instrumente in Mehrzweckwerkzeuge, die sowohl zur Analyse von Luft- als auch von Oberflächenverunreinigungen geeignet sind. Diese Integration ermöglicht es den Fabriken, ihre bestehende Überwachungsinfrastruktur zu nutzen und gleichzeitig eine völlig neue Dimension der Kontaminationssicherheit hinzuzufügen.

Sistema Surface Scanning Probes (SSP) arbeiten, indem sie Partikel von einer Oberfläche unter kontrollierten Bedingungen in den optischen Zähler ziehen, wodurch quantifizierbare und wiederholbare Bewertungen der Oberflächensauberkeit ermöglicht werden. Dieser Ansatz ergänzt die luftgetragenen Daten und erzeugt ein vollständigeres Kontaminationsprofil über kritische Umgebungen hinweg.

Technische Präzision und Zuverlässigkeit

Die in Deutschland hergestellten Sistema SSPs verkörpern technische Präzision und Haltbarkeit. Ihre robuste Konstruktion gewährleistet die Kompatibilität mit anspruchsvollen Reinraumumgebungen, während hohe Empfindlichkeit und lange Lebensdauer im Laufe der Zeit konsistente Ergebnisse liefern. Sie wurden speziell für die nahtlose Integration entwickelt und passen problemlos in bestehende Arbeitsabläufe, ohne dass neue Schulungsprogramme oder separate Datensysteme erforderlich sind.

Durch die Ausrichtung auf ISO 14644-9, die Methoden zur Bewertung der Oberflächensauberkeit beschreibt, liefern SSPs standardisierte Daten, die für Audits, Prozessqualifizierung und kontinuierliche Verbesserungsprogramme geeignet sind. Dies stellt sicher, dass die Ergebnisse nicht nur präzise, sondern auch rückverfolgbar und über Einrichtungen weltweit vergleichbar sind.

Vorteile für Halbleiterhersteller

Der Einsatz von SSPs bietet Halbleiterfabriken eine Reihe von Vorteilen:

• Umfassende Kontaminationssicherheit durch die Kombination von Luft- und Oberflächenüberwachung.
• Kostengünstige Nutzung bestehender Partikelzähler, wodurch separate Oberflächenanalyseplattformen vermieden werden.
• Standardisierte, rückverfolgbare Sauberkeitsmetriken, die eine langfristige Trendanalyse und die Einhaltung internationaler Standards ermöglichen.
• Deutsche Ingenieurskunst, die Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit auch bei häufigem Gebrauch gewährleistet.
• Globale Anwendbarkeit, da SSPs in die gängigsten optischen Zähler der Branche integriert werden und Fabriken in allen Regionen unterstützen.

Fazit

Da die Gerätegeometrien schrumpfen und die Kontaminationsempfindlichkeit steigt, können sich Halbleiterhersteller nicht allein auf die Luftüberwachung verlassen. Sistema Surface Scanning Probes (SSP) bieten in Kombination mit Standard-Optischen Partikelzählern eine bewährte Lösung für diese Herausforderung. Durch die Ermöglichung einer zuverlässigen, standardisierten Messung der Oberflächensauberkeit neben der Luftüberwachung helfen SSPs Herstellern weltweit, die höchsten Standards der Kontaminationskontrolle zu erreichen – und die Ausbeuten, die von der fortschrittlichen Halbleiterproduktion gefordert werden.

Referenzen

ISO 14644-1:2015 – Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration. Internationale Organisation für Normung.

ISO 14644-9:2012 – Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der Partikelkonzentration. Internationale Organisation für Normung.