Die Oberfl\u00e4chenabtastsonden von Sistema-MK bieten entscheidende Vorteile, darunter deutsche Ingenieurskunst mit robustem Design, hoher Pr\u00e4zision und langer Lebensdauer. Sie erm\u00f6glichen eine nahtlose Integration mit weit verbreiteten Partikelz\u00e4hlern wie Lighthouse Solair und TSI Aerotrak und verbessern gleichzeitig die Reinraumqualit\u00e4t, indem sie eine standardisierte \u00dcberpr\u00fcfung der Oberfl\u00e4chensauberkeit erm\u00f6glichen, die die Luft\u00fcberwachung erg\u00e4nzt. Mit einer globalen Reichweite, die Halbleiter-Reinr\u00e4ume weltweit unterst\u00fctzt, geben diese Sonden den Betreibern die Gewissheit, die strengen Anforderungen an die Kontaminationskontrolle in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung zu erf\u00fcllen.<\/p>[\/et_pb_text][\/et_pb_column][\/et_pb_row][\/et_pb_section][et_pb_section fb_built=“1″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ custom_padding=“0px||||false|false“ locked=“off“ global_colors_info=“{}“][et_pb_row _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_column type=“4_4″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][dsm_breadcrumbs _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ items_text_color=“#636363″ home_icon_text_color=“#026FB0″ current_text_color=“#026FB0″ items_font_size_tablet=““ items_font_size_phone=“12px“ items_font_size_last_edited=“on|phone“ current_font_size_tablet=““ current_font_size_phone=“12px“ current_font_size_last_edited=“on|phone“ locked=“off“ global_colors_info=“{}“][\/dsm_breadcrumbs][\/et_pb_column][\/et_pb_row][et_pb_row column_structure=“1_2,1_2″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_column type=“1_2″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_image src=“https:\/\/sistema-group.de\/wp-content\/uploads\/2025\/09\/Surface-Cleanliness-Scanning-probes_2-small.jpg“ alt=“Oberfl\u00e4chen-Sauberkeits-Abtastsonden 2 klein“ title_text=“Oberfl\u00e4chen-Sauberkeits-Abtastsonden 2 klein“ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][\/et_pb_image][\/et_pb_column][et_pb_column type=“1_2″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_text _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“]
In der Halbleiterindustrie, wo selbst mikroskopisch kleine Partikel die Ausbeute beeintr\u00e4chtigen k\u00f6nnen, ist die Erkennung und Messung von Oberfl\u00e4chenverunreinigungen von entscheidender Bedeutung. Die Sonden von Sistema-MK erweitern die F\u00e4higkeiten etablierter luftgetragener Partikelz\u00e4hlsysteme und verwandeln sie in umfassende Werkzeuge f\u00fcr die \u00dcberwachung der Oberfl\u00e4chensauberkeit in Produktionsst\u00e4tten.<\/p>\n
Diese in Deutschland entwickelten und gefertigten Oberfl\u00e4chenabtastsonden bieten au\u00dfergew\u00f6hnliche Zuverl\u00e4ssigkeit und Genauigkeit. Speziell f\u00fcr die Kompatibilit\u00e4t mit f\u00fchrenden optischen Partikelz\u00e4hlern wie Lighthouse Solair und TSI Aerotrak entwickelt, erm\u00f6glichen sie pr\u00e4zise Bewertungen kritischer Oberfl\u00e4chen in Reinraumumgebungen.<\/p>\n
Mit robuster Konstruktion, hoher Pr\u00e4zision und langer Lebensdauer verbinden die Sonden von Sistema-MK deutsche Ingenieurskunst mit nahtloser Integration in bestehende \u00dcberwachungssysteme. Durch die Bereitstellung einer standardisierten \u00dcberpr\u00fcfung der Oberfl\u00e4chensauberkeit neben der Luft\u00fcberwachung verbessern sie die Reinraumqualit\u00e4t und helfen Halbleiterherstellern weltweit, die strengsten Standards f\u00fcr die Kontaminationskontrolle zu erf\u00fcllen.<\/p>[\/et_pb_text][et_pb_blurb title=“Brosch\u00fcre“ use_icon=“on“ font_icon=“||fa||400″ icon_color=“#CE0000″ module_class=“lkc-inline“ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ text_orientation=“center“ max_width=“100px“ custom_margin=“|20px|0px||false|false“ link_option_url=“https:\/\/sistema-group.de\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/SSP-presentation.pdf“ link_option_url_new_window=“on“ global_colors_info=“{}“][\/et_pb_blurb][et_pb_button button_text=“Kontakt \/ Anfrage“ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ custom_button=“on“ button_text_color=“#FFFFFF“ button_use_icon=“off“ dsm_modules_popup=“on“ dsm_modules_popup_library=“245670″ dsm_modules_overlay_background=“rgba(255,255,255,0.87)“ global_colors_info=“{}“][\/et_pb_button][\/et_pb_column][\/et_pb_row][et_pb_row _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_column type=“4_4″ _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ global_colors_info=“{}“][et_pb_text _builder_version=“4.27.4″ _module_preset=“default“ hover_enabled=“0″ global_colors_info=“{}“ sticky_enabled=“0″]
In der Halbleiterproduktion h\u00e4ngt die Ausbeute von der unerbittlichen Kontrolle mikroskopisch kleiner Partikel ab. Selbst Submikron-Kontaminationen auf Wafern, Werkzeugen oder Substraten k\u00f6nnen Prozesse st\u00f6ren, die Zuverl\u00e4ssigkeit der Bauelemente verringern und die Ausbringung beeintr\u00e4chtigen. Reinr\u00e4ume sind so konzipiert, dass sie luftgetragene Partikel minimieren, und optische Partikelz\u00e4hler werden in gro\u00dfem Umfang eingesetzt, um die Luftreinheit gem\u00e4\u00df internationalen Standards wie ISO 14644-1 zu messen. Die reine Luft\u00fcberwachung allein erz\u00e4hlt jedoch nicht die ganze Geschichte. Partikel, die der Erkennung entgehen, setzen sich oft auf kritischen Oberfl\u00e4chen ab und stellen versteckte Risiken dar, die nur durch eine direkte Oberfl\u00e4chenbewertung identifiziert werden k\u00f6nnen.<\/p>\n
Sistema Surface Scanning Probes (SSP) schlie\u00dfen diese \u00dcberwachungsl\u00fccke, indem sie die F\u00e4higkeiten bestehender luftgetragener Partikelz\u00e4hler erweitern. Durch die nahtlose Kopplung mit weit verbreiteten optischen Partikelz\u00e4hlern verwandeln SSPs diese Instrumente in Mehrzweckwerkzeuge, die sowohl zur Analyse von Luft- als auch von Oberfl\u00e4chenverunreinigungen geeignet sind. Diese Integration erm\u00f6glicht es den Fabriken, ihre bestehende \u00dcberwachungsinfrastruktur zu nutzen und gleichzeitig eine v\u00f6llig neue Dimension der Kontaminationssicherheit hinzuzuf\u00fcgen.<\/p>\n
Sistema Surface Scanning Probes (SSP) arbeiten, indem sie Partikel von einer Oberfl\u00e4che unter kontrollierten Bedingungen in den optischen Z\u00e4hler ziehen, wodurch quantifizierbare und wiederholbare Bewertungen der Oberfl\u00e4chensauberkeit erm\u00f6glicht werden. Dieser Ansatz erg\u00e4nzt die luftgetragenen Daten und erzeugt ein vollst\u00e4ndigeres Kontaminationsprofil \u00fcber kritische Umgebungen hinweg.<\/p>\n
Die in Deutschland hergestellten Sistema SSPs verk\u00f6rpern technische Pr\u00e4zision und Haltbarkeit. Ihre robuste Konstruktion gew\u00e4hrleistet die Kompatibilit\u00e4t mit anspruchsvollen Reinraumumgebungen, w\u00e4hrend hohe Empfindlichkeit und lange Lebensdauer im Laufe der Zeit konsistente Ergebnisse liefern. Sie wurden speziell f\u00fcr die nahtlose Integration entwickelt und passen problemlos in bestehende Arbeitsabl\u00e4ufe, ohne dass neue Schulungsprogramme oder separate Datensysteme erforderlich sind.<\/p>\n
Durch die Ausrichtung auf ISO 14644-9, die Methoden zur Bewertung der Oberfl\u00e4chensauberkeit beschreibt, liefern SSPs standardisierte Daten, die f\u00fcr Audits, Prozessqualifizierung und kontinuierliche Verbesserungsprogramme geeignet sind. Dies stellt sicher, dass die Ergebnisse nicht nur pr\u00e4zise, sondern auch r\u00fcckverfolgbar und \u00fcber Einrichtungen weltweit vergleichbar sind.<\/p>\n
Der Einsatz von SSPs bietet Halbleiterfabriken eine Reihe von Vorteilen:<\/p>\n
Da die Ger\u00e4tegeometrien schrumpfen und die Kontaminationsempfindlichkeit steigt, k\u00f6nnen sich Halbleiterhersteller nicht allein auf die Luft\u00fcberwachung verlassen. Sistema Surface Scanning Probes (SSP) bieten in Kombination mit Standard-Optischen Partikelz\u00e4hlern eine bew\u00e4hrte L\u00f6sung f\u00fcr diese Herausforderung. Durch die Erm\u00f6glichung einer zuverl\u00e4ssigen, standardisierten Messung der Oberfl\u00e4chensauberkeit neben der Luft\u00fcberwachung helfen SSPs Herstellern weltweit, die h\u00f6chsten Standards der Kontaminationskontrolle zu erreichen \u2013 und die Ausbeuten, die von der fortschrittlichen Halbleiterproduktion gefordert werden.<\/p>\n
ISO 14644-1:2015<\/strong> \u2013 Reinr\u00e4ume und zugeh\u00f6rige Reinraumbereiche \u2013 Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration. Internationale Organisation f\u00fcr Normung.<\/p>\n ISO 14644-9:2012 <\/strong>\u2013 Reinr\u00e4ume und zugeh\u00f6rige Reinraumbereiche \u2013 Teil 9: Klassifizierung der Oberfl\u00e4chenreinheit anhand der Partikelkonzentration. Internationale Organisation f\u00fcr Normung.<\/p>[\/et_pb_text][\/et_pb_column][\/et_pb_row][\/et_pb_section]\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":" OBERFL\u00c4CHEN-ABTASTSONDEN Die Oberfl\u00e4chenabtastsonden von Sistema-MK bieten entscheidende Vorteile, darunter deutsche Ingenieurskunst mit robustem Design, hoher Pr\u00e4zision und langer Lebensdauer. Sie erm\u00f6glichen eine nahtlose Integration mit weit verbreiteten Partikelz\u00e4hlern wie Lighthouse Solair und TSI Aerotrak und verbessern gleichzeitig die Reinraumqualit\u00e4t, indem sie eine standardisierte \u00dcberpr\u00fcfung der Oberfl\u00e4chensauberkeit erm\u00f6glichen, die die Luft\u00fcberwachung erg\u00e4nzt. Mit einer globalen Reichweite, die Halbleiter-Reinr\u00e4ume weltweit unterst\u00fctzt, geben diese Sonden den Betreibern die Gewissheit, die strengen Anforderungen an die Kontaminationskontrolle in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung zu erf\u00fcllen.